MSA-100-3D 显微式测振仪
名称：MSA-100-3D 显微式测振仪。
型号：MSA-100-3D。
产地：德国。
产品简介： MEMS系统的3D振动测量
实物的振动通常是三维振动。虽然可选择优先显示某特定方向的振动，但由于存在产品公差和其它影响，在其它空间方向也存在运动分量。 MSA-100-3D显微式激光测振仪可在大带宽范围内实时测量被测物体的动态特性，分辨率高，同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量，每向的振幅分辨率均达到亚皮米级。
典型应用
● 惯性传感器，如加速度计和陀螺仪
● 微机电传感器和致动器 (MEMS)
● 打印机喷墨头
● 压力传感器薄膜
● 耳机、微型镜头等
产品图片：
产品亮点：
● 实时振动测量，高达 25MHz 的大带宽
● 用于面外和面内振动测量，振幅分辨率达亚皮米级
● 单点式和全场扫描式振动测量
● 激光光斑小于 4μm，横向分辨率极高
● 测试距离大，可达38mm
● 可与常见的MEMS商用探针测试台兼容
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